本設(shè)備為多源高真空蒸發(fā)鍍膜儀，設(shè)備采用前開(kāi)門(mén)式真空腔體設(shè)計(jì)，腔體空間大，可拓展性強(qiáng)，能夠滿(mǎn)足多樣式大尺寸樣品的蒸發(fā)鍍膜。腔體內(nèi)配有上置樣品臺(tái)，可根據(jù)用戶(hù)樣品樣式選取夾持或卡位式樣品安裝部件。樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn)、加熱及升降，所有操作均通過(guò)觸控屏集成控制。設(shè)備的真空泵組為兩級(jí)式真空系統(tǒng)，由雙極旋片真空泵和渦輪分子泵組成，可為真空鍍膜試驗(yàn)提供清潔無(wú)油的高真空的環(huán)境；真空系統(tǒng)內(nèi)含有完善的氣動(dòng)閥系統(tǒng)，用戶(hù)可通過(guò)觸控屏進(jìn)行一鍵式操作實(shí)現(xiàn)抽取真空、不停機(jī)取放樣、完全停機(jī)等操作。

本設(shè)備的蒸發(fā)源共兩組，采取鎢舟蒸發(fā)源，水冷式銅電極，可*大支持300A的大電流，加熱溫度*高可達(dá)1800℃，可實(shí)現(xiàn)多種難熔金屬的蒸鍍。本設(shè)備采用一體化設(shè)計(jì)，腔體和電控部分左右分置，實(shí)現(xiàn)了水電分離，有力的保證了用戶(hù)的**。電控部分采用觸控屏和按鈕面板相結(jié)合的設(shè)計(jì)，真空系統(tǒng)、樣品臺(tái)等輔助功能通過(guò)觸控屏一鍵操作，通電蒸發(fā)、膜厚控制等通過(guò)面板獨(dú)立操作，在盡可能方便用戶(hù)的同時(shí)規(guī)避了誤操作的可能。該設(shè)備設(shè)計(jì)完善性能優(yōu)越，是實(shí)驗(yàn)室高精度蒸發(fā)鍍膜試驗(yàn)的必備之選

技術(shù)參數(shù):

多源高真空蒸發(fā)鍍膜儀
樣品臺(tái)	尺寸	φ150mm樣品
	高度	上下150mm可調(diào)
蒸發(fā)源	數(shù)量	鎢舟x2
真空腔體	腔體尺寸	φ500x700mm
	觀(guān)察窗口	前置φ100mm含遮光片
	腔體材料	304不銹鋼
	開(kāi)啟方式	前開(kāi)門(mén)式
膜厚控制	晶振式膜厚測(cè)量?jī)x，可選多通道膜厚控制儀
真空系統(tǒng)	前級(jí)泵	雙極旋片泵
	抽氣接口	KF16
	次級(jí)泵	渦輪分子泵
	抽氣接口	ISO160
	真空測(cè)量	電阻+電離 復(fù)合真空規(guī)
	排氣速率	機(jī)械泵1.1L/s 分子泵 600L/s
	極限真空	1.0E-5Pa
	供電電源	AC 220V 50/60Hz
	抽氣速率	旋片泵：1.1L/S
流量計(jì)	可選一路質(zhì)量流量計(jì) 500sccm Ar氣
控制系統(tǒng)	PLC自動(dòng)控制  操作界面：觸控屏+操作面板
其他	供電電壓	AC220V,50Hz
	整機(jī)尺寸	1200mm X 900mm X 1500mm
	整機(jī)重量	500kg
	整機(jī)功率	5kW