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產品詳情
  • 產品名稱:高真空電子束蒸發(fā)鍍膜儀

  • 產品型號:CY-EBH500-SS
  • 產品廠商:成越科儀
  • 產品文檔:
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簡單介紹:
電子束蒸發(fā)方式鍍膜設備,主要用于制備各種導電薄膜、半導體薄膜、鐵電薄膜、光學薄膜,微納器件微加工,電鏡樣品預處理等,尤其適用蒸鍍各種難熔金屬材料。不僅可用于玻璃片、硅片等硬質襯底,也可用用于PDMS、PTFE、PI等柔性襯底上鍍膜
詳情介紹:

高真空電子束蒸發(fā)鍍膜儀技術參數(shù):

產品名稱

高真空電子束蒸發(fā)鍍膜儀

產品型號

CY-EBH500-SS

樣品臺

外形尺寸

<150mm,樣品臺可旋轉

可調溫度

500

電子槍

新型電子槍,6孔坩堝

加熱燈

4只鹵素加熱燈用于除氣,1個氖燈用于照明

真空腔體

腔體尺寸

Φ500*H500mm

觀察窗口

直徑φ100mm

腔體材質

304不銹鋼

開啟方式

前開門式

膜厚測量

采用SQM160膜厚儀進行監(jiān)控,涂層厚度不均勻度小于6%

真空系統(tǒng)

前級泵

雙極旋片泵,氣體抽速1.1L/S

次級泵

渦輪分子泵,氣體抽速600L/S

真空測量

復合真空計(電離規(guī)+電阻規(guī))

系統(tǒng)真空

5×10-5Pa

水冷系統(tǒng)

水壓<2.5bar 水壓監(jiān)測

加熱燈

4只鹵素加熱燈用于除氣,1個氖燈用于照明

電極接口

2路金屬蒸發(fā)電極接口

控制系統(tǒng)

CYKY自研專業(yè)級控制器

其他參數(shù)

供電電源

AC380V,50Hz

整機尺寸

1000mm×800mm×1500mm

整機功率

20KW

整機重量

350kg

高真空電子束蒸發(fā)鍍膜儀

豫公網安備 41019702002438號

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