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氣體質量流量計全稱為質量流量控制器，其英文名字叫“MASS FLOW CONTROLLER”(簡稱MFC)，主要由：流量傳感器、流量調節(jié)閥、放大控制電路和分流器控制通道等部件組成。它的工作電源及流量顯示和設定等操作由與其配套的流量顯示電源提供。質量流量計主要用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制。廣泛用于石油化工、冶金、制藥等領域；比如：擴散，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射，離子注入，以及真空鍍膜設備，光纖熔煉，微反應裝置，混氣配氣系統(tǒng)，毛細管測量氣象色譜儀，光導纖維制造設備中。其主要特點：
1、可以任意角度安裝
2、良好的線性——多段線性補償
3、快速的響應速度，穩(wěn)定度高，重復性好。
4、電磁閥使用壽命≥100萬次
5、對零點漂移有效的控制
6、傳感器、分流器、精密元器件日本進口
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產品名稱 |
氣體質量流量計 |
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流量范圍 |
(10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min |
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調節(jié)閥類型 |
電磁調節(jié)閥 |
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調節(jié)閥靜止狀態(tài) |
常閉 |
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安裝角度 |
任意 |
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流量控制范圍 |
2%～100% |
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流量測量范圍 |
0～100% |
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響應時間 |
2s（T98，設定值的±2% F.S.） |
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工作環(huán)境溫度 |
5℃～50℃ |
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精度保證溫度 |
15℃～35℃ |
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精度 |
±1.0%F.S. |
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線性精度 |
±0.5%F.S. |
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重復性 |
±0.2%F.S. |
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工作壓差 |
～5L/min (50～300)kPa(D) |
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耐壓 |
3MPa |
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泄漏率 |
1×10-8 Pa?m3/s （He） |
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接觸氣體材料 |
316L,PTFE,Viton氟橡膠 |
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管路接頭 |
Swagelok:1/4″Φ6 Φ10 VCR:1/4″3/8″ |
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供電電源 |
±15VDC(±5%) +15V＜100mA,-15V＜150mA |
+24VDC(寬電壓+11～+25V), |
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設定信號 |
(0～5)VDC 輸入阻抗＞1MΩ |
4～20mA；（可定制：1～5V或0～5V） |
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流量輸出信號 |
(0～5)VDC 負載能力≤3mA |
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電氣接頭 |
D-SUB15,D-SUB9 |
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重量(kg) |
0.9 |
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