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RTP快速退火爐是我公司自主研發(fā)的功能強(qiáng)大的加熱設(shè)備。RTP快速退火爐采用進(jìn)口紅外加熱管加熱,造型新穎結(jié)構(gòu)合理,爐體和爐管可以自由滑動,可實現(xiàn)快速升降溫。爐管內(nèi)尺寸120mm,可以直接放下4英寸的材料,試樣反應(yīng)區(qū)處在一個密閉的石英腔體內(nèi),在完成生產(chǎn)工藝的同時也大大降低了間接污染試樣的可能性。設(shè)備配備LCD高清觸摸屏,設(shè)定數(shù)據(jù)實驗操作均為圖文界面,操作方便快捷易上手,能夠大大提高您的實驗效率。設(shè)備預(yù)留了真空和氣路的快速接口,可以選購我們的真空系統(tǒng)和混氣系統(tǒng)一起使用。
RTP快速退火爐應(yīng)用領(lǐng)域:
快速退火爐設(shè)備,可用于快速熱退火、快速熱氧化、快速熱氮化、硅化、擴(kuò)散、化合物半導(dǎo)體退火、離子注入后退火、電極合金化、晶化和致密化、合金熔點分析、薄膜沉積等。
RTP快速退火爐技術(shù)參數(shù):
產(chǎn)品型號
CY-RTP1000-Φ150-400-T
爐管材質(zhì)
高純石英
爐管直徑
120mm
爐管長度
500mm
爐膛長度
440mm
加熱區(qū)長
400mm
恒溫區(qū)長
200mm
工作溫度
0~1000℃
升溫速度
推薦80℃/s,快升溫速度100℃/s
降溫速度
200℃以上≤25min
控溫精度
±1℃
控溫模式
8段
顯示模式
LCD觸摸屏
密封方式
304不銹鋼真空法蘭
法蘭接口
1/4英寸卡套接頭(?8寶塔嘴接頭)
可抽真空
4.4E-3Pa 分子泵
供電電源
AC:220V 50/60Hz
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