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產品詳情
  • 產品名稱:1200℃RTP退火爐

  • 產品型號:CY-RTP1000-Φ300-T
  • 產品廠商:成越科儀
  • 產品文檔:
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簡單介紹:
1200℃RTP退火爐是一款12寸片快速退火爐,采用革新的加熱技術,可實現(xiàn)真正的基底溫度測量,不需要采用傳統(tǒng)快速退火爐的溫度補償,溫度控制**,溫度重復性高,客戶包括國際上許多半導體公司及知名科研團隊,是半導體制程退火工藝的理想選擇
詳情介紹:

1200℃RTP退火爐是一款12寸片快速退火爐,采用革新的加熱技術,可實現(xiàn)真正的基底溫度測量,不需要采用傳統(tǒng)快速退火爐的溫度補償,溫度控制**,溫度重復性高,客戶包括國際上許多半導體公司及知名科研團隊,是半導體制程退火工藝的理想選擇。

技術特色:

? 真正的基片溫度測量,無需傳統(tǒng)的溫度補償

? 紅外鹵素管燈加熱

? 極其優(yōu)異的加熱溫度**性與均勻性

? 快速數(shù)字PID溫度控制

? 不銹鋼冷壁真空腔室

? 系統(tǒng)穩(wěn)定性好

? 帶觸摸屏的PC控制

? 兼容常壓和真空環(huán)境,真空度標準值為5×10-3Torr,采用二級分子泵真空度低至5×10-6Torr

? *高3路氣體(MFC控制)

? 沒有交叉污染,沒有金屬污染

  技術參數(shù):

產品名稱

1200RTP退火爐

產品型號

CY-RTP1000-Φ300-T

基片尺寸

12英寸

基片基座

石英針(可選配SiC涂層石墨基座)

溫度范圍

150-1200

加熱速率

10-150/S

溫度均勻性

≤±1.5% (@800, Silicon wafer)

≤±1.0% (@800, Substrate on SiC coated graphite susceptor)

溫度控制精度

≤ ±3

溫度重復性

≤ ±3

真空度

5.0E-3 Torr / 5.0E-6 Torr

氣路供應

標準1N2吹掃及冷卻氣路,由MFC控制(*多可選3路)

退火持續(xù)時間

10min@1200

溫度控制

快速數(shù)字PID控制

尺  寸

890mm*950mm*1400mm

豫公網(wǎng)安備 41019702002438號

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